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微型氣體質量流量控制器是專門為各類小流量氣體的測量和控制而設計的。該系列 的傳感器均采用先進的微機電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感芯片來制作，結合數(shù)字信號處 理技術和流量控制算法，實現(xiàn)對各類氣體流量大小的精準控制和智能化處理。